Исследование шероховатости поверхности методами контактной и оптической профилометрии

Руководитель

Юнин Павел Андреевич

Краткое описание работы

Лабораторная работа посвящена исследованию морфологии реальных поверхностей. В рамках работы проводится измерение параметров шероховатости поверхностей полупроводниковых структур различной степени обработки. В качестве методов анализа используются оптическая интерференционная микроскопия белого света и контактная профилометрия. Оба метода позволяют получить прямую информацию о распределении высот точек поверхности. Для характеризации шероховатости поверхностей используется статистическое и фрактальное описание. Проводится сравнение двух экспериментальных методов исследования морфологии поверхности и двух подходов к описанию шероховатости.

Список оборудования

• Оптическая интерференционная измерительная система белого света Taylor&Hobson Talysurf CCI 2000
• Контактный профилометр модели 130, изготовитель завод «Протон-МИЭТ»

Учебно-методическое пособие

Исследование шероховатости поверхности методами контактной и оптической профилометрии